TY - THES ID - 72199089 TI - Composite particles for chemical - mechanical planarization applications. AU - Armini, Silvia. AU - Bogaerts, Walter AU - Haegemans, Anny AU - Puers, Robert. AU - Dehaen, Wim. AU - Martens, Johan A.. AU - Vandervorst, Wilfried. AU - Mertens, Robert Pierre AU - Moinpour, Mansour AU - Maex, Karen AU - K.U.Leuven. Faculteit Ingenieurswetenschappen. Departement Elektrotechniek (ESAT) PY - 2007 SN - 9789056828554 PB - Leuven K.U.Leuven. Faculteit Ingenieurswetenschappen DB - UniCat KW - 62-039 <043> KW - Academic collection KW - Engineering materials in general--Dissertaties KW - Theses UR - https://www.unicat.be/uniCat?func=search&query=sysid:72199089 AB - ER -