TY - THES ID - 138180514 TI - Untersuchungen zur Abscheidung von Bornitrid mit halogenhaltigen Precursoren. AU - Hentschel, Frank AU - Universität Hamburg. Fachbereich Chemie PY - 2005 PB - Hamburg Universität Hamburg DB - UniCat UR - https://www.unicat.be/uniCat?func=search&query=sysid:138180514 AB - ER -