TY - BOOK ID - 137294089 TI - Fundamental processes in sputtering of atoms and molecules (SPUT92) AU - Sigmund, Peter AU - Royal Danish Academy of Sciences and Letters. PY - 1993 PB - København Det kongelige Danske videnskabernes selskab DB - UniCat UR - https://www.unicat.be/uniCat?func=search&query=sysid:137294089 AB - ER -