TY - BOOK ID - 100636627 TI - Modular adaptive mikrooptische Systeme in Kombination mit Mikroaktoren PY - 2010 SN - 1000018509 3866445296 PB - KIT Scientific Publishing DB - UniCat KW - Mikrosystemtechnik KW - Interferometer KW - LIGA-Mikrosysteme KW - Mikroaktorik KW - modulare Mikrosysteme UR - https://www.unicat.be/uniCat?func=search&query=sysid:100636627 AB - Die Modularisierung technischer Systeme bietet auf dem Gebiet der Mikrosystemtechnik im Bereich der Sensor- und Analysesysteme erhöhte Systemflexibilität bei sinkenden Herstell- und Entwicklungskosten. Die vorliegende Arbeit beschreibt die Entwicklung, Realisierung und Charakterisierung aktorbasierter mikrooptischer Systeme anhand eines adaptiven Mach-Zehnder Mikrointerferometers in modularer Bauweise. Als Basis dient die LIGA-Technologie in Kombination mit kommerziellen Systemkomponenten. ER -